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AMAT強化MEMS業(yè)務(wù),將銷售AML的晶圓鍵合裝置
來源:技術(shù)在線 發(fā)表于 2010/11/29

  美國應(yīng)用材料(Applied Materials,AMAT)正在強化MEMS制造裝置業(yè)務(wù)。作為其中一環(huán),此次將銷售英國Applied Microengineering(AML)公司的晶圓鍵合(粘合)裝置。AMAT已將深溝道(Deep Trench)用干式蝕刻裝置、去除犧牲層等的HF氣相(氟酸蒸汽)蝕刻裝置以及合并MEMS與CMOS工藝時所需的低溫成膜裝置等制成了產(chǎn)品。加上此次的晶圓鍵合裝置,構(gòu)筑一條新的MEMS生產(chǎn)線所需的主要MEMS制造裝置已經(jīng)齊備。

  MEMS市場已經(jīng)從噴墨打印機(Inkjet Printer)的噴頭擴展至多種車載傳感器,以及安裝在游戲機和手機上的加速度傳感器和角度/角速度傳感器(陀螺傳感器,也稱陀螺儀)。AMAT認(rèn)為,今后MEMS市場和MEMS制造裝置市場將分別以年率15%和36%的速度增長。瞄準(zhǔn)這一增長領(lǐng)域,“將強化MEMS制造裝置業(yè)務(wù)”(該公司裝備部品制造部應(yīng)用材料全球服務(wù)副總裁兼經(jīng)理Mark Stark)。具體為,除了向MEMS領(lǐng)域擴銷面向半導(dǎo)體制造裝置開發(fā)的支持200mm晶圓的制造裝置外,還將投放支持MEMS特有工藝的200mm晶圓裝置,擴充MEMS制造裝置的產(chǎn)品系列。AMAT以該方向為目標(biāo),此次在產(chǎn)品中追加了晶圓鍵合裝置。

  此次將銷售的晶圓鍵合裝置為“AML Fab 12 Aligner Wafer Bonder”。該裝置的特點是,疊加晶圓的耦合(Alignment)工藝與加熱并壓接重疊晶圓的工藝在同一反應(yīng)室內(nèi)完成。而此前是在不同的反應(yīng)室分別實施的。因此,在完成鍵合之前需要二次搬運晶圓等,難以提高產(chǎn)能。此次通過在同一反應(yīng)室內(nèi)完成,據(jù)稱產(chǎn)能和COO(Cost Of Ownership)可提高20%以上(效果因應(yīng)用而異)。另外,通過將反應(yīng)室合并為一個,還形成了容易降低成本的裝置。為了在同一反應(yīng)室內(nèi)作業(yè),改變了耦合機構(gòu)的設(shè)計,并提高了鍵合壓力的穩(wěn)定性和精度。

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